把原有的通用技术，降低为针对性的个性化专用方法或技术，可以降低对生产工艺的要求，且能基本保证一定的产品品质。

例如，在集成电路[1-9]的光刻机里，用类似“光学邻近效应修正”的思路，对整个镜头的失真进行预先进行“预畸变的几何修正”。

对于成像分辨率基本满足要求，但几何畸变不满足的镜头，对版图进行预先的修正。这种预先的修正，刚好使得曝光后的图形畸变消失。这就是说，不仅仅是修正“光学衍射效应”的不利影响，同时修正镜头自身加工工艺误差造成的缺陷。换言之，通过精确测试“低质量”镜头的曝光后的图形畸变，对版图进行预先的修正。即进一步扩展的“光学修正”：“低质量”镜头引起的几何畸变的预先修正。这样，可以适度降低对光刻机镜头加工精度和质量的要求。

这个思路，类似现代农业里的“精准施肥/precision fertilization/”。[10-12]                  

又如，王立新[13]的“以最有名的日本仙台地铁控制系统为例，这套控制系统是汇集了大量专家的经验，并经过工程师们两千多次的试验才完成的。它的成功是由于有效利用了专家的知识与经验，而不是什么模糊概念。”不是采用通用的控制技术，而是类似“光学邻近效应修正”、“精准施肥”之类的针对性的个性化专用方法或技术，对重要的具体问题，进行针对性的具体化解决。即使没有达到高性能控制技术的生产效果，也有利于避免产生“第N代”与“第N+1代”的技术跨度障碍。

光刻机的控制呢？模糊控制是一个重要的候选控制方法。模糊控制，可以理解为一种高分辨率的 bang-bang control，一种把“状态空间划分为两个区域”更灵巧、更精细、更具有针对性的、更专用的分段划分[14, 15]。类似仙台地铁，将光刻机运动行为实测后总结出的针对性的个性化专用技术（知识与经验）。      

参考文献：

[1] 2022-12-28，光刻投影物镜/lithography projection objectives/张立超，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=118380&Type=bkzyb&SubID=109328

[2] 2022-01-20，光刻对准工艺/lithography alignment method/谢常青，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=124515&Type=bkzyb&SubID=99057

[3] 2022-12-21，未来光刻机的发展方向/唐燕、胡松、何渝，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=487942&Type=bkdzb&SubID=743

[4] 2022-01-20，浸入式光刻技术/immersion lithography technology/谢常青，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=124492&Type=bkzyb&SubID=99057

[5] 2022-01-20，光学邻近效应修正/optical proximity effect correction/谢常青，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=124529&Type=bkzyb

[6] ASML, History, Over 30 years of ingenuity and perseverance

https://www.asml.com/en/company/about-asml/history

[7] 杨正瓴. 一种新型集成电路概念——串音计算[N]. 中国科学报，2019-08-15 第7版 信息技术

http://paper.sciencenet.cn/dz/dzzz_1.aspx?dzsbqkid=33013

http://paper.sciencenet.cn/dz/upload/2019/8/201981505629684.pdf

https://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2019/8/348727.shtm

[8] 杨正瓴. “半电路、半电磁场”的集成电路设计构想[ED/OL]. 中科院科学智慧火花，2019-04-06.

https://idea.cas.cn/viewdoc.action?docid=68642

[9] 杨正瓴. 建议我国进行“半电路、半电磁场”集成电路的研制[ED/OL]. 中科院科学智慧火花，2020-10-14.

https://idea.cas.cn/viewdoc.action?docid=76039

[10] 2022-12-23，精准施肥/precision fertilization/孙本华，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=510473&Type=bkzyb&SubID=68392

[11] 2022-12-23，精准施肥/precision fertilization/张小超 毛文华 王丽丽，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=289606&Type=bkzyb&SubID=157062

[12] 2022-12-23，精准农业/precision agriculture/张小超 毛文华，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=289197&Type=bkzyb&SubID=157062

[13] 王立新. 回复：关于模糊理念的思考[J]. 自动化学报, 2022, 28(4): 670-672.

[14] 2022-01-20，棒棒控制/bang-bang control/薛安克，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=55936&Type=bkzyb&SubID=91671

[15] 2023-03-11，砰砰控制/bang-bang control/段广仁，中国大百科全书，第三版网络版[ED/OL]

https://www.zgbk.com/ecph/words?SiteID=1&ID=192944&Type=bkzyb&SubID=118839